形成抗反射膜的組合物，其具有優異的適用性，在產生超細微泡方面受到了顯著抑制，產生能夠足夠地減少駐波效應的抗反射薄膜并且具有優異的在水和堿性顯影液中的溶解性。所述形成抗反射膜的組合物包含：(A)由例如2-(甲基)丙烯酰氨基-2-甲基丙烷磺酸代表的含磺酸基的丙烯酰胺衍生物和例如由2，2，3，3，3-五氟丙基(甲基)丙烯酸酯代表的含氟代烷基的丙烯酸酯衍生物的共聚物(鹽)；和(B)表面活性劑，其0.1wt％的水溶液具有在25℃下測量的45mN/m或更低的表面張力。

形成抗反射薄膜的組合物，層狀產品，和抗蝕劑圖案的形成方法.pdf