一種用于圖案形成方法中的水溶性樹脂組合物，所述方法涉及涂敷涂層到由ArF響應(yīng)的輻射敏感樹脂組合物形成的抗蝕圖上并增大所述抗蝕圖寬度以獲得有效小型化的溝槽圖案和孔圖案，其中，抗蝕圖層的尺度收縮程度比現(xiàn)有技術(shù)有提高，并且，其中粗/密抗蝕圖對(duì)尺度收縮的依賴性減小；和一種使用所述水溶性樹脂組合物形成圖案的方法。提供了一種用于上述圖案形成方法中的水溶性樹脂組合物，可適用于ArF受激準(zhǔn)分子激光輻射，含有水溶性樹脂、當(dāng)被加熱時(shí)能產(chǎn)生酸的發(fā)生劑、表面活性劑、交聯(lián)劑和含水溶劑。還提供一種使用所述水溶性樹脂組合物形成圖案的方法。
